您的位置： 专家智库 > >

刘琛

作品数：82 被引量：4H指数：1
供职机构：杭州士兰集成电路有限公司更多>>
相关领域：电子电信理学机械工程自动化与计算机技术更多>>

合作作者

领域

  • 21个电子电信
  • 4个自动化与计算...
  • 4个理学
  • 3个机械工程
  • 2个化学工程
  • 1个电气工程
  • 1个一般工业技术
  • 1个文化科学

主题

  • 15个介质层
  • 15个半导体
  • 14个淀积
  • 14个刻蚀
  • 14个光刻
  • 12个外延层
  • 11个衬底
  • 10个硅片
  • 9个半导体器件
  • 8个导体
  • 8个电阻
  • 8个氧化层
  • 8个接触孔
  • 7个电化学腐蚀
  • 7个短路
  • 7个膜层
  • 6个单芯片
  • 6个氮化硅
  • 6个电极
  • 5个划伤

机构

  • 23个杭州士兰集成...
  • 2个杭州士兰微电...

资助

  • 2个国家科技重大...
  • 1个北京市自然科...
  • 1个国家自然科学...

传媒

  • 9个中国集成电路
  • 6个半导体技术
  • 4个2014`全...
  • 1个电子测试
  • 1个微电子学
  • 1个微纳电子技术
  • 1个科学技术创新

地区

  • 23个浙江省
共 23 条 记 录，以下是 1-10
季锋
供职机构：杭州士兰集成电路有限公司
研究主题：空腔 牺牲层 MEMS器件 半导体 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘慧勇
供职机构：杭州士兰集成电路有限公司
研究主题：发射区 外延层 功率半导体器件 IGBT器件 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙福河
供职机构：杭州士兰集成电路有限公司
研究主题：差分式 MEMS器件 可变电容器 牺牲层 电容器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
范伟宏
供职机构：杭州士兰集成电路有限公司
研究主题：硅片 惯性传感器 深槽 传感器结构 布线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
饶晓俊
供职机构：杭州士兰集成电路有限公司
研究主题：外延层 磁阻 掺杂 布线 半导体器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙伟
供职机构：杭州士兰集成电路有限公司
研究主题：MEMS器件 衬底 空腔 结构层 灵敏度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈雪平
供职机构：杭州士兰微电子股份有限公司
研究主题：磁阻 单芯片 淀积 磁阻传感器 干法刻蚀工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王平
供职机构：杭州士兰集成电路有限公司
研究主题：外延层 功率半导体器件 沟槽 导电类型 掺杂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨彦涛
供职机构：杭州士兰集成电路有限公司
研究主题：沟槽 功率器件 功率半导体器件 半导体 接触孔
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
季峰
供职机构：杭州士兰集成电路有限公司
研究主题：硅片 光照 空穴 多孔硅 电化学腐蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共3页<123>
聚类工具0