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徐强
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中国科学院微电子研究所
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合作作者
赵超
中国科学院微电子研究所
李俊峰
中国科学院微电子研究所
杨涛
中国科学院微电子研究所
王桂磊
中国科学院微电子研究所
熊文娟
中国科学院微电子研究所
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赵超
供职机构:清华大学
研究主题:半导体器件 衬底 栅极 沟道 金属硅化物
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所获资助
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李俊峰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 衬底 沟道 栅极
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杨涛
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:刻蚀 衬底 半导体器件 化学机械平坦化 晶圆
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王桂磊
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 衬底 载流子迁移率 栅极
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殷华湘
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 栅极 衬底 鳍片
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熊文娟
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:衬底 锗 波导结构 波导传输 光电探测器
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张永奎
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 电子设备 沟道 堆叠
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洪培真
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:刻蚀 刻蚀工艺 纳米线 栅极 半导体器件
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闫江
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 掩模 栅极 衬底
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尹海洲
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 半导体结构 沟道 鳍片 栅极
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