2024年12月4日
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鹿雯
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上海交通大学
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化学工程
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汪红
上海交通大学
丁桂甫
上海交通大学
罗江波
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汪红
供职机构:上海交通大学
研究主题:TSV MEMS 图形化 微加工 微机电系统
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罗江波
供职机构:上海交通大学
研究主题:TSV 硅基 子层 复合介质 高深宽比
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丁桂甫
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机电系统技术 双稳态 微加工
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