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王磊

作品数：11 被引量：17H指数：2
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：上海市自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信理学机械工程更多>>

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地区

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共 8 条 记 录，以下是 1-8
王向朝
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李思坤
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：掩模 光刻机 投影物镜 光刻 极紫外光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨朝兴
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 光源 掩模 投影物镜 分辨率增强技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
闫观勇
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 像差 主成分
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈丽娜
供职机构：新疆师范大学物理与电子工程学院
研究主题：投影物镜 光刻机 大数值孔径 波像差 数值孔径
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王俊
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：激光防护 非线性光学 非线性光学性质 二硫化钼 光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李源鑫
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：测量方法 测绘 MOS2薄膜 Z扫描 WS2
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张赛锋
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：粗糙度 成膜 测量方法 测绘 表面粗糙度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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