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段力
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34
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H指数:4
供职机构:
上海交通大学
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国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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金属学及工艺
自动化与计算机技术
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合作作者
丁桂甫
上海交通大学电子信息与电气工程...
张亚非
上海交通大学电子信息与电气工程...
高均超
北京金轮坤天特种机械有限公司
张丛春
上海交通大学电子信息与电气工程...
卢学良
上海交通大学电子信息与电气工程...
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丁桂甫
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机电系统技术 双稳态 微加工
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张亚非
供职机构:上海交通大学
研究主题:碳纳米管 石墨烯 量子点 单壁碳纳米管 气体传感器
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高均超
供职机构:上海交通大学
研究主题:高温 软光刻 热电阻 PDMS 光刻技术
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卢学良
供职机构:上海交通大学电子信息与电气工程学院
研究主题:掺镁 薄膜体声波谐振器 体声波谐振器 ICP刻蚀 航空发动机涡轮叶片
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张丛春
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统技术 磁控溅射 双稳态 热电偶 高温
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刘一剑
供职机构:山东科技大学
研究主题:压花 水转印纸 薄膜体声波谐振器 喷涂装置 喷涂
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沈勇
供职机构:上海交通大学电子信息与电气工程学院
研究主题:谐振器 薄膜体声波谐振器 表面粗糙度 SMR 压电材料
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刘民
供职机构:上海交通大学电子信息与电气工程学院
研究主题:电感耦合等离子体 ICP刻蚀 多孔结构 热导率 硅
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汪军
供职机构:上海交通大学电子信息与电气工程学院
研究主题:液氮冷冻 复合物 耐热玻璃 薄膜体声波谐振器 消弧线圈
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汪红
供职机构:上海交通大学
研究主题:TSV MEMS 图形化 微加工 微机电系统
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