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李志杰
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供职机构:
中国电子科技集团第二十六研究所
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合作作者
司美菊
中国电子科技集团第二十六研究所
唐永亮
中国电子科技集团第二十六研究所
杜波
中国电子科技集团第二十六研究所
祖小涛
中国电子科技集团第二十六研究所
江洪敏
中国电子科技集团第二十六研究所
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杜波
供职机构:中国电子科技集团第二十六研究所
研究主题:薄膜体声波谐振器 声表面波 换能器 谐振 刻蚀工艺
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唐永亮
供职机构:电子科技大学物理电子学院
研究主题:声表面波 叉指电极 结构声 敏感区 敏感膜
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司美菊
供职机构:中国电子科技集团第二十六研究所
研究主题:薄膜体声波谐振器 FBAR ALN薄膜 声表面波滤波器 压电薄膜
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王登攀
供职机构:中国电子科技集团第二十六研究所
研究主题:压电 压电陶瓷 超声传感器 PVDF 复合材料结构
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所获资助
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祖小涛
供职机构:中国电子科技集团第二十六研究所
研究主题:叉指电极 结构声 敏感区 敏感膜 气敏传感器
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江洪敏
供职机构:中国电子科技集团第二十六研究所
研究主题:声表面波 延迟线 薄膜体声波谐振器 压电薄膜 气体传感器
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马晋毅
供职机构:中国电子科技集团第二十六研究所
研究主题:声表面波 薄膜体声波谐振器 声表面波滤波器 电极 体声波滤波器
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王露
供职机构:中国电子科技集团第二十六研究所
研究主题:声表面波 超声传感器 PVDF 橡胶圈 圈套
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杨靖
供职机构:中国电子科技集团第二十六研究所
研究主题:声表面波 刻蚀工艺 介质层 介质材料 全密封
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