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刘昊
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供职机构:
中国电子科技集团公司第五十五研究所
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电子电信
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自动化与计算机技术
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合作作者
柏松
中国电子科技集团公司第五十五研...
黄润华
中国电子科技集团公司第五十五研...
吴立枢
中国电子科技集团公司第五十五研...
赵岩
中国电子科技集团公司第五十五研...
石归雄
中国电子科技集团公司第五十五研...
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柏松
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:碳化硅 导电类型 刻蚀 外延层 沟道
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所获资助
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黄润华
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:导电类型 碳化硅 沟道 MOSFET器件 导通电阻
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石归雄
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:圆片 旋涂 盐酸清洗 甩干机 氮化镓
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赵岩
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:旋涂 磷化铟 圆片 盐酸清洗 发射极
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程伟
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:磷化铟 发射极 金属 圆片 旋涂
发表作品
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吴立枢
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:衬底 键合 键合材料 金刚石 氮化镓晶体管
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陈刚
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:碳化硅 刻蚀 自对准 碳化硅器件 高温退火
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陶永洪
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:碳化硅 SIC H型 4H-SIC 界面态
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刘奥
供职机构:南京电子器件研究所
研究主题:碳化硅 SIC H型 界面态 4H-SIC
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汪玲
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:碳化硅 高温退火 沟道电阻 刻蚀 导通电阻
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