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陈昌龙
作品数:
9
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H指数:1
供职机构:
中国科学院光电技术研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
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电子电信
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合作作者
胡松
中国科学院光电技术研究所
刘俊伯
中国科学院光电技术研究所
邸成良
中国科学院大学
何渝
中国科学院光电技术研究所
陈铭勇
中国科学院光电技术研究所
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胡松
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
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刘俊伯
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 数值孔径 投影光刻机 光刻 投影物镜
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何渝
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻 数字微镜 衍射 工件台 成像
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陈铭勇
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:投影光刻 无掩模光刻 光刻机 投影物镜 莫尔条纹
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邸成良
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:莫尔条纹 图像处理 叶丝 硅片 工件台
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王楠
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 光刻 采样方法 采样点 采样
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唐小萍
供职机构:西藏自治区气候中心
研究主题:生物芯片 纳米光刻 掩模 光刻分辨力 光刻机
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马平
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 掩模 工件台 样片 纳米光刻
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赵立新
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
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朱咸昌
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 微透镜阵列 大视场 焦距 投影物镜
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