邸成良
- 作品数：18 被引量：19H指数：3
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：农业科学轻工技术与工程自动化与计算机技术一般工业技术更多>>
- 基于线阵CCD数字图像处理技术的叶丝宽度测量装置被引量：13
- 2013年
- 为快速、准确地测量叶丝宽度,基于线阵CCD(Charge-coupled device)数字图像处理技术设计了叶丝宽度测量装置。该装置由工件台、照明系统、成像系统、控制系统以及图像处理算法软件等部分组成。在测量过程中,将多根叶丝摆放在叶丝盒内,控制系统带动叶丝盒运动,经高亮度照明系统照明,由线阵CCD扫描相机拍摄叶丝图像,最后经过分割、去噪、二值化、矩阵翻转测宽等步骤完成叶丝宽度测量。结果表明,测量装置的相对误差小于0.5%,变异系数小于0.2%,检测所需时间仅为投影仪的1/6,并可表征出叶丝宽度的分布情况,能够满足切丝宽度的工艺指标要求,有效提高了叶丝宽度的测量效率。
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- 关键词：线阵CCD图像处理二值化
- 一种光闸莫尔条纹焦面检测方法
- 本发明是一种光闸莫尔条纹焦面检测系统，用于投影光刻机非接触快速焦面检测，该装置包括照明光源、扩束准直镜组、第一光栅、第一远心成像镜组、第二远心成像镜组、第二光栅、聚光镜、光电检测单元和硅片组成，该系统基于三角测量的基本原...
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- 叶丝测量仪
- 1．本外观设计产品的名称：叶丝测量仪。;2．本外观设计产品的用途：测量烟丝的宽度。;3．本外观设计的设计要点：在于产品的形状。;4．最能表明设计要点的图片或者照片：主视图。;5．请求保护的外观设计包含有颜色。
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- 文献传递
- 一种基于图像处理的烟丝宽度测量方法
- 本发明涉及一种基于图像处理的烟丝宽度测量方法。首先，在自然光下使用线阵CCD摄相机拍摄固定在载物台上的烟丝图像；之后对扫描的图像进行预处理，包括图像灰度拉伸；中值滤波去除噪声；全局阈值处理将灰度图像转化为二值图像；开、闭...
- 邸成良赵维一胡松曾建温若愚周学政李东亮严伟
- 文献传递
- 一种基于图像处理的烟丝宽度测量方法
- 本发明涉及一种基于图像处理的烟丝宽度测量方法。首先，在自然光下使用线阵CCD摄相机拍摄固定在载物台上的烟丝图像；之后对扫描的图像进行预处理，包括图像灰度拉伸；中值滤波去除噪声；全局阈值处理将灰度图像转化为二值图像；开、闭...
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- 一种投影物镜焦面形状测量标记装置及应用
- 本发明提供一种投影物镜焦面形状测量标记装置及应用，含有镀铬区域、透光区域、相位凹槽区域，其中：镀铬区域、透光区域、相位凹槽区域的宽度比为2:1:1；相位凹槽区域具有90°的位相深度。使用时，制作一带有可提高投影物镜焦面形...
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- 文献传递
- 一种适用于投影光刻机的实时检焦调焦方法
- 本发明提供一种适用于投影光刻机的实时检焦调焦方法，由光源(1)经准直透镜成为平行光束，通过投影光阑(3)成为一道狭缝。狭缝经成像镜组(4)成像于硅片(6)表面。从硅片表面反射的光束经成像镜组(10、11)成像在线阵CCD...
- 陈昌龙邸成良唐小萍胡松马平刘俊伯马驰飞何渝
- 文献传递
- 基于线阵CCD的高速光刻检焦技术被引量：3
- 2015年
- 随着光学投影光刻分辨力的提高,投影物镜的焦深在逐渐缩短。为充分利用物镜有限的焦深,一般采用调焦技术来调整硅片位置。作为调焦的关键,检焦技术的研究尤为热门。现有的检焦方法多采用四象限探测器或者面阵CCD采集携带有硅片离焦量信息的光强信号,并在计算机上进行图像处理完成检焦。该方法处理速度慢,难以满足实时调焦的要求。鉴于此,提出了一种用线阵CCD采集图像,以FPGA为处理器的检焦方法。该方法利用线阵CCD的高速性和FPGA的并行性,结合多项式插值的亚像素边缘检测算法,能够高速实时检测硅片离焦量;同时,FPGA通过驱动电机控制工件台运动对离焦量进行补偿,形成一个实时闭环的调焦系统,减少了原有的计算机环节,具有高速度、高分辨率、低功耗、低成本的特点。
- 陈昌龙邸成良唐小萍胡松
- 关键词：光刻FPGA线阵CCD
- 一种叶丝宽度快速测量装置
- 本发明公开了一种叶丝宽度快速测量装置包括：工件台系统，照明系统，成像系统，控制系统以及计算机系统五部分。LED照明系统照射在叶丝承载盒上，叶丝承载盒由步进电机带动经过线阵CCD采集完成图像的采集。计算机完成图像处理工作。...
- 邸成良胡松严伟蒋薇赵唯一曾建温若愚周学政李东亮曾肖阳
- 文献传递
- 一种用于接近式纳米光刻二维光栅自动对准系统
- 本发明公开了一种用于接近式纳米光刻二维光栅自动对准系统，包括光路部分、图像处理部分和电路控制部分；光路部分包括激光光源、照明系统、掩模板、硅片、掩模二维光栅、硅片二维光栅、分光镜、透镜和CCD图像探测器；激光通过准直成像...
- 司新春唐燕胡松刘俊伯周毅邓钦元陈昌龙邸成良程依光
