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王守旭
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供职机构:
中国电子科技集团公司第五十五研究所
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合作作者
朱健
中国电子科技集团公司第五十五研...
贾世星
中国电子科技集团公司第五十五研...
黄旼
中国电子科技集团公司第五十五研...
郁元卫
中国电子科技集团公司第五十五研...
孙俊峰
中国电子科技集团公司第五十五研...
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朱健
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:MEMS 硅基 微机电系统 MEMS开关 键合
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贾世星
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:MEMS RF_MEMS开关 圆片级 圆片级封装 干法刻蚀
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黄旼
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:硅基 微流体 异构集成 集成技术 压电层
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郁元卫
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:键合工艺 滤波器 微机械 键合 刻蚀
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孙俊峰
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:传输线 操作工艺 步进式 MEMS开关 氧
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石归雄
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:圆片 旋涂 盐酸清洗 甩干机 氮化镓
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吴璟
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:键合 圆片级 三明治 光刻胶 斜坡
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姜国庆
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:衬底 步进式 高能 核心机 共面波导
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