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程永生

作品数：17 被引量：3H指数：1
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
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唐彬
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：加速度计 极板 微加速度计 石英 结构层
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赵兴海
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：激光诱导损伤 激光点火 激光损伤 ZEMAX 激光
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高杨
供职机构：重庆大学
研究主题：微电子机械系统 薄膜体声波谐振器 体声波 MEMS FBAR
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席仕伟
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：微电子机械系统 MEMS 飞片 声表面波滤波器 干法刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姚明秋
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：微加速度传感器 加速度传感器 压电层 固有频率 阳极键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈朝阳
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：石英 易加工 加速度计 极板 振梁加速度计
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李寅鑫
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：GAAS光导开关 永磁体 光导开关 耐压 击穿
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王旭光
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：悬臂梁 极板 键合 超快激光 加速度传感器
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刘显学
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：极板 加速度计 石英 微机械陀螺 微加速度计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谭刚
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：化学机械抛光 CMP LPCVD 多晶硅薄膜 平坦化
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