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郭福东
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中国科学院上海光学精密机械研究所
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王向朝
中国科学院大学
唐锋
中国科学院上海光学精密机械研究...
卢云君
中国科学院上海光学精密机械研究...
冯鹏
中国科学院上海光学精密机械研究...
张国先
中国科学院上海光学精密机械研究...
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王向朝
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
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唐锋
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卢云君
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
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冯鹏
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:干涉图 干涉仪 波前传感器 分波 剪切
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张国先
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:波像差 干涉仪 相移器 投影物镜 测量仪
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徐静浩
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:宽光谱 显微物镜 衍射极限 光学系统 光谱仪
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研究主题:波像差 投影物镜 剪切干涉 剪切干涉仪 子孔径拼接
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吴飞斌
供职机构:中国科学院
研究主题:剪切干涉仪 剪切干涉 波像差 子孔径拼接 面形
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供职机构:上海市农业科学院
研究主题:电子束辐照 电子束 辐照 电子加速器 杀菌效果
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杨朋千
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:大口径 波前传感器 成像 反射镜 大气光学
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