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中国科学院声学研究所
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合作作者
李俊红
中国科学院声学研究所
汪承灏
中国科学院声学研究所
何世堂
中国科学院声学研究所
黄歆
中国科学院声学研究所
杨楚威
中国科学院声学研究所
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李俊红
供职机构:中国科学院声学研究所
研究主题:压电 硅 芯片 振动膜 矢量水听器
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汪承灏
供职机构:中国科学院声学研究所
研究主题:振动膜 芯片 硅 硅微电容传声器 压电
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何世堂
供职机构:中国科学院声学研究所
研究主题:声表面波 压电基片 声表面波滤波器 气相色谱仪 气体传感器
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黄歆
供职机构:中国科学院声学研究所
研究主题:芯片 振动膜 空气隙 电容传声器 硅微电容传声器
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徐联
供职机构:中国科学院声学研究所
研究主题:振动膜 硅微电容传声器 芯片 电容传声器 硅
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杨楚威
供职机构:中国科学院声学研究所
研究主题:硅 压电薄膜 压电 微机电系统 传声器
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魏建辉
供职机构:中国科学院声学研究所
研究主题:硅微电容传声器 电容传声器 振动膜 空气隙 芯片
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魏玉兰
供职机构:中国科学院声学研究所
研究主题:声表面波 带宽 高分辨率 RAC 频谱仪
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周献文
供职机构:中国科学院声学研究所
研究主题:声表面波 高分辨率 带宽 RAC 频谱仪
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乔东海
供职机构:苏州大学
研究主题:硅 薄膜体声波谐振器 运算跨导放大器 振动膜 原子钟
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