杨楚威
- 作品数：8 被引量：17H指数：2
- 供职机构：中国科学院声学研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 硅微压电传声器的研究
- 硅微压电传声器是一种可应用于电声、超声和水声的微传感器.但是现今硅微压电传声器的灵敏度较低,该文为了提高灵敏度,同时也为了提高成品率,提出了三种结构上的改进:1)用较厚的复合基底膜代替单层膜.2)电极由单电极改为分割的串...
- 杨楚威
- 关键词：氧化锌压电薄膜微机电系统微传感器
- 文献传递
- 具有分割式串连电极的硅微压电传感器芯片及其制备方法
- 本发明涉及的具有分割式串连电极的硅微压电传感器芯片：n型硅基片中心有上小下大的方锥形孔；基片正、反面分别淀积基膜层和掩膜层，基膜层中心有圆孔，掩膜层中心有与硅基片反面方孔相同的方孔，基膜层上表面有振动膜；或者基片正、反面...
- 汪承灏杨楚威黄歆李俊红乔东海解述
- 文献传递
- 具有分割式串连电极的硅微压电传感器芯片及其制备方法
- 本发明涉及的具有分割式串连电极的硅微压电传感器芯片：n型硅基片中心有上小下大的方锥形孔；基片正、反面分别淀积基膜层和掩膜层，基膜层中心有圆孔，掩膜层中心有与硅基片反面方孔相同的方孔，基膜层上表面有振动膜；或者基片正、反面...
- 汪承灏杨楚威黄歆李俊红乔东海解述
- 文献传递
- 硅微压电薄膜传声器的制备
- ＜正＞ 1 引言近几年来,随着硅技术的不断发展,硅基微机电系统（MEMS）在许多领域成为科学研究的热点[1][2]。利用硅基微加工工艺加工制作的MEMS器件不仅体积小、重量轻,而且具有与集成电路工艺兼容的特点,使之与传统...
- 杨楚威黄歆解述魏建辉徐明汪承灏
- 文献传递
- 一种硅微压电式传感器芯片及其制备方法
- 本发明涉及的硅微压电传感器芯片，包括：n型硅基片中心有上小下大的方锥形孔，基片正、反面分别淀积氮化硅基膜层和掩膜层，基膜层中心设制圆孔，直径大于等于或小于硅基片正面方孔的对角线，掩膜层中心有与硅基片反面方孔相同尺寸的方孔...
- 杨楚威黄歆李俊红汪承灏解述徐联
- 文献传递
- 圆形振动膜ZnO压电微传声器的研制被引量：5
- 2006年
- 本文介绍了一种新型圆形振动膜ZnO压电微传声器的制备,并对传声器制备的工艺过程进行了较为详细的描述。圆形振动膜的压电传声器与以前方形振动膜结构设计相比,较大幅度提高了传声器的灵敏度和成品率,灵敏度达到-70dB(相对于1V/Pa),成品率达到80%。
- 杨楚威李俊红黄歆汪承灏
- 关键词：压电薄膜ZNO
- 一种硅微压电式传感器芯片及其制备方法
- 本发明涉及的硅微压电传感器芯片，包括：n型硅基片中心有上小下大的方锥形孔，基片正、反面分别淀积氮化硅基膜层和掩膜层，基膜层中心设制圆孔，直径大于等于或小于硅基片正面方孔的对角线，掩膜层中心有与硅基片反面方孔相同尺寸的方孔...
- 杨楚威黄歆李俊红汪承灏解述徐联
- 文献传递
- 硅微ZnO压电薄膜传声器的研制被引量：10
- 2003年
- 本文介绍了一种利用ZnO压电薄膜为换能器的硅微压电薄膜传声器的制备,并且对微机械加工工艺过程进行了较为详细的描述。本文对传声器的部分结构进行改进,与通常设计相比较大幅提高了传声器的性能,1000Hz基准频率的灵敏度达到-85dB(相对于1V/Pa),500Hz到10000Hz的频率响应的平坦度在±3dB范围内。
- 杨楚威黄歆李俊红解述魏建辉马军汪承灏
- 关键词：平坦度微机电系统
