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魏建辉

作品数：36 被引量：34H指数：4
供职机构：中国科学院声学研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国科学院知识创新工程更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术理学交通运输工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 18篇专利
  • 8篇会议论文
  • 6篇期刊文章
  • 4篇科技成果

领域

  • 14篇电子电信
  • 4篇自动化与计算...
  • 1篇机械工程
  • 1篇交通运输工程
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 26篇传声器
  • 19篇电容传声器
  • 18篇硅微电容传声...
  • 13篇振动膜
  • 11篇芯片
  • 11篇空气隙
  • 7篇微机电系统
  • 7篇机电系统
  • 7篇传声
  • 7篇电系统
  • 6篇氮化
  • 6篇氮化硅
  • 6篇矢量
  • 6篇矢量水听器
  • 6篇水听器
  • 4篇压电
  • 4篇滤波器
  • 4篇防粘连
  • 4篇MEMS
  • 3篇声表面波

机构

  • 36篇中国科学院

作者

  • 36篇魏建辉
  • 30篇汪承灏
  • 24篇徐联
  • 20篇李俊红
  • 16篇黄歆
  • 15篇马军
  • 8篇田静
  • 7篇金国华
  • 6篇乔东海
  • 6篇任伟
  • 5篇解述
  • 4篇潘昕
  • 3篇梁勇
  • 3篇何世堂
  • 3篇徐明
  • 3篇李晓东
  • 2篇郝震宏
  • 2篇李伯权
  • 2篇刘梦伟
  • 2篇张晓辉

传媒

  • 2篇应用声学
  • 2篇传感技术学报
  • 2篇2006和谐...
  • 2篇第八届中国微...
  • 1篇声学学报
  • 1篇机械工程学报
  • 1篇2007’促...

年份

  • 2篇2019
  • 1篇2018
  • 3篇2016
  • 1篇2012
  • 3篇2009
  • 2篇2007
  • 10篇2006
  • 3篇2005
  • 5篇2004
  • 1篇2003
  • 1篇2002
  • 1篇2000
  • 3篇1999
共 36 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
圆形振动膜硅微电容传声器
硅微传声器是一种用MEMS技术制造的、将声信号转换为电信号的声学传感器.该传声器只需五次光刻工艺即可制作完成,其灵敏度在偏置电压为9V时可达15mV/Pa左右,在100Hz～18kHz的范围内的频率响应也较平坦.
田静汪承灏徐联乔东海马军郝震宏魏建辉
关键词：微电子机械系统硅微电容传声器
文献传递
具有高灵敏度的用于硅微电容传声器中的芯片
本实用新型涉及具有高灵敏度的用于硅微电容传声器中的芯片，包括一n－型硅基片，在硅基片的正面扩散硼形成p+型搀杂层，在其上通过沉积二氧化硅并光刻、腐蚀成隔离层，在隔离层上附着一振动膜层，振动膜层之上沉积金属铝膜和方形铝电极...
徐联汪承灏魏建辉黄歆李俊红
文献传递
硅微传声器研究进展
＜正＞1．概述硅微传声器是一种用MEMS技术制造的、将声信号转换为电信号的声学传感器。自2002年起,中国科学院声学研究所在中国科学院知识创新工程试点项目、国家863计划MEMS重大专项课题和国家自然科学基金“半导体集成...
田静汪承灏徐联乔东海马军魏建辉
文献传递
适用于SOC的声、热、力微传感器系统基础研究
田静徐联黄歆乔东海马军金国华李俊红邓英魏建辉
1 硅微电容传声器：硅微电容传声器即将成为继喷墨打印头、汽车防撞气囊用加速度计之后第三种大规模产业化的MEMS产品，可望克服近来实用MEMS领域进展缓慢的颓势，意义十分重大。本工作创新地提出了圆形振动膜结构硅微电容传声器...
关键词：
关键词：电容传声器微传声器
外围减薄振动膜的硅微电容传声器
硅微电容传声器是 MEMS 技术的一个热点.为了减小硅微传声器的体积,需要减小传声器振动膜的面积.由于传声的灵敏度是与振动膜的张力成反比的.减小振动膜的张力是小面积振动膜传声器灵敏度提高的一个有效途径. 减小振动膜张力的...
张晓辉汪承灏徐联魏建辉马军李俊红
关键词：硅微电容传声器振动膜
文献传递
一种传声器芯片制备方法
本发明涉及传声器芯片制备方法，包括一n-型硅基片，在硅基片的正面扩散硼形成p+型搀杂层，在其上通过沉积二氧化硅并光刻、腐蚀成隔离层，在隔离层上附着一振动膜层，振动膜层之上沉积金属铝膜和方形铝电极；在硅基片的反面有一层氮化...
徐联汪承灏黄歆魏建辉李俊红
文献传递
一种用于硅微电容传声器中的芯片及其制备方法
本发明涉及一种用于硅微电容传声器中的芯片及其制备方法。该芯片包括一n－型硅基片，在其正面扩散硼形成p+型搀杂层，在该层上面沉积二氧化硅、刻蚀成隔离层，在其上附着一振动膜层，振动膜层之上沉积金属铝膜，并光刻、腐蚀成圆形铝膜...
徐联汪承灏魏建辉黄歆李俊红
文献传递
MEMS压电水听器和矢量水听器研究进展被引量：11
2018年
基于微电子机械系统制造技术的MEMS压电水听器和矢量水听器具有小型化、低功耗、低成本、易成阵、无源、噪音低等优点。对基于ZnO薄膜的MEMS水听器和矢量水听器进行了研究,测试结果表明,硅微压电水听器的灵敏度为-192 d B(ref.1 V/μPa),基本达到实用化的要求。MEMS压电矢量水听器等效声压灵敏度为-229.5 d B(ref.1 V/μPa),比同类型压阻式MEMS矢量水听器的灵敏度高17 d B,但还未达到实用化要求。为了进一步提高MEMS矢量水听器的灵敏度,设计了具有U形槽的压电复合悬臂梁结构和电极串联结构,采用具有更高压电系数的掺钒ZnO薄膜作为压电层,并对MEMS制备工艺进行了改进,有望显著提高MEMS矢量水听器的灵敏度。
李俊红马军魏建辉任伟
关键词：微电子机械系统水听器ZNO薄膜灵敏度
硅微电容传声器的防粘连结构
粘连是硅微电容传声器释放牺牲层过程中不容忽视的一个严重问题,大大降低了器件的成品率.在背板上制备微突出(bump)结构,可以较彻底阻止粘连现象发生,提高传声器的成品率.以往的防粘连微突出结构大都制备在上背板结构硅微电容传...
潘昕汪承灏徐联魏建辉
关键词：微机电系统硅微电容传声器防粘连
文献传递
一种MEMS压电矢量水听器及其制备方法
本发明涉及一种MEMS压电矢量水听器及其制备方法，MEMS压电矢量水听器包括：1‑3个后置放大电路、灌封结构以及1‑3个压电传感芯片。1‑3个后置放大电路被相互垂直放置在灌封结构，其中，每个后置放大电路上粘贴并焊接一个压...
李俊红汪承灏魏建辉马军任伟
文献传递
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