2024年11月28日
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程勇鹏
作品数:
5
被引量:3
H指数:1
供职机构:
中国科学院半导体研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
陈少武
中国科学院半导体研究所
任光辉
中国科学院半导体研究所
樊中朝
中国科学院半导体研究所
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陈少武
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:SOI 波导 刻蚀 硅基 电光调制器
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供职机构
所获资助
研究领域
任光辉
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:可调谐 波导 微环 耦合器 脊型光波导
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相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
樊中朝
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:刻蚀 干法刻蚀 碳化硅 SOI 多模干涉耦合器
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