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王光月
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清华大学
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合作作者
潘峰
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曾飞
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刘宏燕
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潘峰
供职机构:清华大学
研究主题:声表面波器件 存储器 底电极 氮化铝薄膜 掺杂
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曾飞
供职机构:清华大学
研究主题:离子束辅助沉积 声表面波器件 存储器 磁各向异性 氮化铝薄膜
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李起
供职机构:清华大学
研究主题:反应溅射 C轴取向 氮化铝薄膜 声表面波器件 磁控溅射
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相关人物
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刘宏燕
供职机构:清华大学
研究主题:氮化铝薄膜 稀磁半导体 掺杂 压电系数 硅表面
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