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刘宏燕

作品数：12 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：一般工业技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 8篇专利
  • 2篇会议论文
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 4篇氮化铝
  • 4篇氮化铝薄膜
  • 3篇导体
  • 3篇压电
  • 3篇稀磁半导体
  • 3篇半导体
  • 2篇多铁性
  • 2篇压电系数
  • 2篇闪锌矿
  • 2篇闪锌矿结构
  • 2篇铁磁
  • 2篇铁电
  • 2篇铁电性
  • 2篇锌矿
  • 2篇六角晶系
  • 2篇耐高温
  • 2篇可见光
  • 2篇高压电
  • 2篇共掺
  • 2篇共掺杂

机构

  • 12篇清华大学

作者

  • 12篇刘宏燕
  • 11篇曾飞
  • 9篇潘峰
  • 4篇唐光盛
  • 4篇王光月
  • 3篇罗景庭
  • 2篇杨晶
  • 1篇陈超
  • 1篇宋成
  • 1篇潘峰

传媒

  • 1篇真空科学与技...
  • 1篇第十届全国X...

年份

  • 2篇2018
  • 2篇2016
  • 1篇2015
  • 1篇2014
  • 3篇2013
  • 1篇2012
  • 2篇2011
共 12 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
离子束轰击诱导硅表面自组装纳米结构的形成和模拟
离子束轰击诱导固体表面自组装纳米结构是一种自下而上高效制备功能纳米器件的方法,近年来成为研究热点。在离子束垂直或倾斜入射条件下,固体表面常分别自组装出典型的纳米点阵或纳米条纹结构,取决于离子束诱导的表面粗化和表面扩散引起...
唐光盛刘宏燕曾飞潘峰
文献传递
耐高温多铁性氮化铝薄膜及其制备方法
本发明公开了一种耐高温多铁性氮化铝薄膜及其制备方法。该材料的分子式为Al<Sub>x</Sub>(A<Sub>y</Sub>B<Sub>1‑y</Sub>)<Sub>1‑x</Sub>N<Sub>z</Sub>；其中，x...
曾飞刘宏燕王光月潘峰
文献传递
离子束轰击诱导硅表面纳米结构和铁纳米条纹
2012年
研究了氩离子束轰击诱导硅表面自组装纳米结构和铁纳米条纹的形成规律。在单晶Si(100)表面水平放置直径为2mm的铁棒,采用3 keV氩离子束垂直轰击硅样品表面。扫描电镜观察表明:在金属铁棒周围由近及远,硅表面形成纳米条纹和纳米点阵,纳米条纹向纳米点阵的过渡形貌为链状纳米椭圆结构;并在铁棒区域自组装出金属铁纳米条纹。通过阻尼Kuramoto-Sivashinsky方程对离子束作用下固体表面纳米结构的形成机理进行了合理的诠释与讨论。
唐光盛刘宏燕曾飞潘峰
关键词：表面形貌
一种具有大压电常数的AlN薄膜
本发明公开了一种具有大压电常数的AlN薄膜。所述薄膜由V和AlN组成；其中，V的原子百分数为0-11.4％，但不为0，Al的原子百分数为38.6％-50％，余量为N。本发明提供的AlN薄膜中掺V，引起晶格畸变，c常数变小...
潘峰刘宏燕曾飞罗景庭唐光盛
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具有闪锌矿结构的磁性氮化铝薄膜材料及其制备方法与应用
本发明公开了一种具有闪锌矿结构的磁性氮化铝薄膜材料及制备方法与应用。该Sc掺杂的氮化铝中，所述Sc掺杂的氮化铝的晶体结构为闪锌矿结构，且所述Sc元素占据晶格中部分Al元素的位置。Sc与Al的摩尔比为76：24；所述(Al...
曾飞刘宏燕王光月潘峰
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互补型阻变存储器及制备方法
本发明公开了一种互补型阻变存储器及制备方法。该存储器，由下至上依次包括底电极、氧储备层、存储介质层和顶电极。其中，二氧化钛纳米存储介质层和氮氧化钛氧存储层是通过将氮化钛薄膜进行等离子体氧化的方法制备。通过电激励使氧空位在...
潘峰唐光盛曾飞陈超刘宏燕宋成
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一种具有高可见光透过率和高压电常数的共掺杂ZnO薄膜
本发明公开了一种共掺杂ZnO薄膜。所述ZnO薄膜由a类元素、b类元素和ZnO组成；所述a类元素为Mg和Ga中至少一种；所述b类元素为V、Cr、Fe和Mn中至少一种；所述a类元素的原子百分数为1％～3.4％，所述b类元素的...
曾飞刘宏燕杨晶潘峰罗景庭
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声表面波器件用压电薄膜与换能器材料
刘宏燕
具有闪锌矿结构的磁性氮化铝薄膜材料及其制备方法与应用
本发明公开了一种具有闪锌矿结构的磁性氮化铝薄膜材料及制备方法与应用。该Sc掺杂的氮化铝中，所述Sc掺杂的氮化铝的晶体结构为闪锌矿结构，且所述Sc元素占据晶格中部分Al元素的位置。Sc与Al的摩尔比为76：24；所述(Al...
曾飞刘宏燕王光月潘峰
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耐高温多铁性氮化铝薄膜及其制备方法
本发明公开了一种耐高温多铁性氮化铝薄膜及其制备方法。该材料的分子式为Al<Sub>x</Sub>(A<Sub>y</Sub>B<Sub>1-y</Sub>)<Sub>1-x</Sub>N<Sub>z</Sub>；其中，x...
曾飞刘宏燕王光月潘峰
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