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杨开明

作品数：270 被引量：450H指数：11
供职机构：清华大学更多>>
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合作作者

领域

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主题

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  • 49个传感器
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机构

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资助

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传媒

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  • 7个机械制造
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  • 6个机械强度

地区

  • 94个北京市
  • 1个湖北省
  • 1个江苏省
  • 1个陕西省
  • 1个四川省
  • 1个甘肃省
  • 1个广东省
共 101 条 记 录，以下是 1-10
朱煜
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
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张鸣
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 位移测量系统 工位
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尹文生
供职机构：华中科技大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工位 直线电机
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胡金春
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工位 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐登峰
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 工位 平面电机 六自由度 基台
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
穆海华
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 工件台 音圈电机 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
成荣
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 工件台 位移测量系统 激光干涉仪
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汪劲松
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 并联机床 机器人 三自由度 并联机构
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李鑫
供职机构：清华大学
研究主题：平面电机 工件台 音圈电机 晶圆 光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘召
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 激光干涉仪 大行程 激光干涉
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