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尹文生

作品数：320 被引量：654H指数：12
供职机构：华中科技大学更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 215篇专利
  • 92篇期刊文章
  • 5篇会议论文
  • 3篇学位论文
  • 3篇科技成果

领域

  • 67篇自动化与计算...
  • 24篇机械工程
  • 20篇电子电信
  • 15篇文化科学
  • 13篇金属学及工艺
  • 8篇电气工程
  • 6篇理学
  • 4篇一般工业技术
  • 3篇化学工程
  • 2篇交通运输工程
  • 2篇农业科学
  • 1篇天文地球
  • 1篇动力工程及工...
  • 1篇建筑科学
  • 1篇政治法律
  • 1篇兵器科学与技...

主题

  • 72篇光刻
  • 64篇光刻机
  • 62篇电机
  • 30篇六自由度
  • 28篇平面电机
  • 28篇工位
  • 26篇直线电机
  • 25篇轴承
  • 24篇永磁
  • 24篇感器
  • 24篇传感
  • 24篇传感器
  • 22篇激光
  • 21篇干涉仪
  • 20篇气浮轴承
  • 19篇掩模
  • 19篇激光干涉
  • 18篇微动
  • 18篇工件台
  • 13篇激光干涉仪

机构

  • 244篇清华大学
  • 61篇华中科技大学
  • 10篇华中理工大学
  • 4篇上海交通大学
  • 4篇湖北省交通运...
  • 1篇武汉科技大学
  • 1篇天津工程机械...
  • 1篇北京英纳超导...

作者

  • 318篇尹文生
  • 222篇朱煜
  • 190篇张鸣
  • 163篇徐登峰
  • 162篇胡金春
  • 156篇杨开明
  • 104篇汪劲松
  • 92篇穆海华
  • 86篇段广洪
  • 53篇田丽
  • 52篇刘召
  • 48篇成荣
  • 33篇李鑫
  • 30篇张利
  • 27篇胡楚雄
  • 25篇许岩
  • 23篇刘昊
  • 23篇闵伟
  • 22篇李广
  • 21篇余东东

传媒

  • 6篇机械工程学报
  • 6篇清华大学学报...
  • 5篇华中理工大学...
  • 4篇中国机械工程
  • 4篇华中科技大学...
  • 4篇计算机应用研...
  • 4篇机械与电子
  • 3篇中国电机工程...
  • 3篇计算机仿真
  • 3篇机械科学与技...
  • 3篇中国水运（下...
  • 2篇半导体技术
  • 2篇计算机工程
  • 2篇机床与液压
  • 2篇微电机
  • 2篇自动化与仪表
  • 2篇计算机辅助设...
  • 2篇组合机床与自...
  • 2篇电子工业专用...
  • 1篇塑料

年份

  • 1篇2023
  • 1篇2022
  • 3篇2021
  • 5篇2020
  • 4篇2019
  • 6篇2018
  • 6篇2017
  • 6篇2016
  • 21篇2015
  • 23篇2014
  • 30篇2013
  • 35篇2012
  • 29篇2011
  • 26篇2010
  • 25篇2009
  • 12篇2008
  • 9篇2007
  • 13篇2006
  • 21篇2005
  • 15篇2004
共 320 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种基于磁场的六自由度位移测量方法
本发明是一种基于磁场的六自由度位移测量方法，该方法是利用合理分布的永磁体在空间内构建出特殊分布的磁场，在其产生的磁场空间范围内布置磁传感器，用于接收磁感应强度信号，并将磁传感器固结于运动物体上使之跟随运动，进而利用磁感应...
朱煜胡金春尹文生季钇澎张鸣杨开明胡楚雄成荣
纳米精度六自由度磁浮微动台及应用
纳米精度六自由度磁浮微动台及应用，主要应用于半导体光刻设备中。该微动台含有十字支架和四个两自由度致动器。每个两自由度致动器包括沿竖直方向极化的永磁体、水平力线圈以及竖直力线圈，永磁体固定于十字支架的末端，水平力线圈和竖直...
朱煜张鸣李广汪劲松胡金春尹文生杨开明张利马竞许岩李玉洁田丽段广洪
一种多掩模的光刻机硅片台系统
一种多掩模的光刻机硅片台系统，该系统含有基台，至少一个硅片台，一组光学透镜和掩模台系统。所述的掩模台系统包括掩模台基座和掩模承载台；掩模台基座长边为Y方向，短边为X方向，所述的掩模承载台在掩模台基座上沿Y方向作直线运动，...
朱煜张鸣汪劲松田丽徐登峰尹文生段广洪胡金春许岩
一种基于电机磁场模型的动子位移测量方法
一种基于电机磁场模型的动子位移测量方法，该方法是在动子上沿动子运动方向布置两个磁感应强度传感器，两个传感器相距磁场极距的四分之一<Image file="DDA0000139963170000011.GIF" he="3...
胡金春朱煜穆海华孙玉婷张鸣杨开明刘召尹文生
文献传递
一种掩膜台系统
一种掩膜台系统，主要用于光刻机系统中。该系统包括磁悬浮装置，振动装置、驱动装置和掩膜台。所述磁悬浮装置由固定在掩膜台上的永磁体和被永磁体吸引的固定在光刻机机架上的铁磁性部件组成，在驱动装置的配合下使掩膜台在工作中保持悬浮...
张鸣朱煜汪劲松闵伟尹文生胡金春徐登峰杨开明穆海华段广洪
一种无横梁连接双边驱动工件台的定位对准装置
一种无横梁连接双边驱动工件台的定位对准装置，属于超精密加工和检测设备技术领域。本发明定位装置包含两个相同定位组件，每个定位组件由一个可伸缩单元、一个推杆、一个定位凹槽和一个位置传感器组成，位置传感器用于工件台的位置检测，...
朱煜杨开明余东东李鑫汪劲松徐登峰张鸣胡金春穆海华尹文生崔乐卿
一种具有永磁重力补偿结构的微动台
一种具有永磁重力补偿结构的微动台，包括微动台定子、微动台动子及永磁重力补偿结构。该永磁重力补偿结构包括固定部分和支撑部分，固定部分由至少四个永磁单元和永磁体骨架组成，四个永磁单元绕微动台的Z轴均匀布置在永磁体骨架上，每个...
张鸣朱煜刘召许玉洁李玉洁田丽张利杨开明徐登峰秦慧超王平安尹文生胡金穆海华
文献传递
面向三维变量设计系统的布局研究和开发被引量：1
2001年
在TOP DOWN设计思想指导下 ,研究设计意图对设计过程的指导设计 .实现设计过程对设计意图变更的快速反应 ,并能维护设计历史 ,提出了基于映射和编码 /解码机制的布局设计方法 ,并将这种方法应用于三维系统INTESOLID2 .
李海艳尹文生
关键词：产品设计CAD
大范围移动磁浮平面工作台
大范围移动磁浮平面工作台，涉及一种磁浮平面工作台，特别是一种大范围移动磁浮平面工作台，主要应用于制造设备与机器人领域。该工作台包括基台和移动台，所述移动台由平台和设置于平台底部的移动电磁结构组成，在基台顶部设置有平面永磁...
朱煜曹家勇张鸣尹文生汪劲松段广洪李广闵伟
文献传递
采用三维永磁阵列的平面电机
采用三维永磁阵列的平面电机，该平面电机包括动子和定子。所述动子采用三维永磁阵列，该三维永磁阵列由上底面分别为S极和N极的S型和N型正四棱台大永磁体以及小永磁体组成，所述S型和N型大永磁体都沿各自的上下两底面中心连线方向充...
朱煜张鸣汪劲松闵伟胡金春尹文生杨开明徐登峰段广洪蔡田
文献传递
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