2024年11月27日
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徐秋霞
作品数:
366
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H指数:4
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
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合作作者
殷华湘
清华大学
许高博
中国科学院微电子研究所
陈大鹏
清华大学
周华杰
中国科学院微电子研究所
朱慧珑
清华大学
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殷华湘
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 栅极 衬底 鳍片
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许高博
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:金属栅 半导体器件 沟道 介质层 堆叠
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陈大鹏
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
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周华杰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:金属栅 鳍片 自顶向下 沟道效应 硅化
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朱慧珑
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 堆叠 衬底 电子设备
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李俊峰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 衬底 沟道 栅极
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刘明
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
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李永亮
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 半导体 晶体管 源区
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钱鹤
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:SOI 刻蚀 自对准硅化物 淀积 集成电路
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陈宝钦
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 电子束直写 电子束曝光 抗蚀剂 电子束
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