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何洪涛

作品数：45 被引量：58H指数：5
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划国际科技合作与交流专项项目更多>>
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合作作者

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地区

  • 21个河北省
  • 1个陕西省
共 22 条 记 录，以下是 1-10
杨拥军
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：MEMS 微电子机械系统 微机械 硅 传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐永青
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：硅 微机械 MEMS 可变光衰减器 微电子机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王伟忠
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：MEMS 微电子机械系统 MEMS压力传感器 传感器 膜结构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗蓉
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：MEMS 硅 深刻蚀 玻璃衬底 SOI材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卞玉民
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：MEMS 微电子机械系统 绝缘体上硅 硅 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐爱东
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：加速度 传感器 硅 角速率 速率传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杜少博
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：膜结构 MEMS MEMS压力传感器 高深宽比 光刻工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郑锋
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：硅 电容式加速度计 译码器 测试系统 惯性器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胥超
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：电极 微电子机械系统 划片 圆片级封装 共晶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐淑静
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：MEMS 加速度 微电子机械系统 传感器 加速度传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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