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蒋振新
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上海交通大学
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合作作者
丁桂甫
上海交通大学微纳米科学技术研究...
张永华
上海交通大学微纳米科学技术研究...
杨春生
上海交通大学微纳米科学技术研究...
曹莹
上海交通大学微纳米科学技术研究...
李永海
上海交通大学
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丁桂甫
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机电系统技术 双稳态 微加工
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张永华
供职机构:华东师范大学
研究主题:微电子机械系统 MEMS 牺牲层 双稳态 光刻胶
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杨春生
供职机构:上海交通大学
研究主题:电极 MEMS 微机电系统 压电 植入
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李永海
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 传质过程 LIGA技术 微电铸 牺牲层技术
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曹莹
供职机构:上海交通大学
研究主题:巨磁阻抗效应 基于微机 射频 微针 电镀锌
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沈民谊
供职机构:上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室
研究主题:共面波导 蝶形天线 插入损耗 MEMS技术 感性耦合
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姚锦元
供职机构:上海交通大学
研究主题:电镀 微机电系统 微加工 阴极 碳纳米管
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蔡炳初
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机械 形状记忆合金 微驱动器
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倪智萍
供职机构:上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室
研究主题:SU-8 微结构 高深宽比 微机电系统 光刻胶
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李新永
供职机构:上海交通大学微纳米科学技术研究院
研究主题:CVD金刚石薄膜 CVD 反应离子刻蚀 金刚石薄膜 微机械加工
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