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张海涛
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北京大学
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合作作者
于晓梅
北京大学微电子学研究院
张大成
北京大学
王小保
北京大学
汤雅权
北京大学微电子学研究院
李修函
北京大学
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于晓梅
供职机构:北京大学
研究主题:红外焦平面阵列 悬臂梁 单片集成 平面阵列 微悬臂梁传感器
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张大成
供职机构:北京大学
研究主题:微电子机械系统 MEMS 刻蚀 硅 键合
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王小保
供职机构:北京大学
研究主题:单片集成 集成化 流量计 CMOS电路 大量程
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李婷
供职机构:北京大学
研究主题:微电子机械系统 刻蚀 键合 牺牲层 成品率
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王阳元
供职机构:北京大学
研究主题:场效应晶体管 逻辑器件 沟道 SOI 集成电路
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李修函
供职机构:北京交通大学
研究主题:流体 超材料 扩散 刻蚀 微系统
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汤雅权
供职机构:北京大学
研究主题:电极 电容式 谐振器 单片集成 亚微米
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王颖
供职机构:北京大学
研究主题:微电子机械系统 刻蚀 梁结构 访谈录 键合
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马盛林
供职机构:北京大学
研究主题:键合 通孔 互连结构 制作方法 TSV
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王玮
供职机构:北京大学
研究主题:单晶金刚石 金刚石 场效应晶体管 硅基 键合
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