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姜理利
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供职机构:
中国电子科技集团公司第五十五研究所
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电子电信
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合作作者
朱健
中国电子科技集团公司第五十五研...
郁元卫
中国电子科技集团公司第五十五研...
贾世星
中国电子科技集团公司第五十五研...
黄旼
中国电子科技集团公司第五十五研...
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中国电子科技集团公司第五十五研...
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郁元卫
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:键合工艺 滤波器 微机械 键合 刻蚀
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朱健
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:MEMS 硅基 微机电系统 MEMS开关 键合
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所获资助
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贾世星
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:MEMS RF_MEMS开关 圆片级 圆片级封装 干法刻蚀
发表作品
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所获资助
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黄旼
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:硅基 微流体 异构集成 集成技术 压电层
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黄镇
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:触点 共面波导结构 信号线 射频微机械开关 侧墙
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吴杰
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:触点 共面波导结构 信号线 基板 射频微机械开关
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侯芳
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:芯片 键合工艺 圆片级 滤波器组 滤波器
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孙俊峰
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:传输线 操作工艺 步进式 MEMS开关 氧
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张龙
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:钛酸锶钡 衬底 半导体硅片 半导体薄膜 高频损耗
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姜国庆
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:衬底 步进式 高能 核心机 共面波导
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