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顾爱军

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：无锡微电子科研中心更多>>
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合作作者

领域

  • 1个电子电信

主题

  • 1个电路
  • 1个电路原理
  • 1个特种气体
  • 1个气体
  • 1个离子
  • 1个离子源
  • 1个集成电路
  • 1个工艺线
  • 1个光刻
  • 1个光刻工艺
  • 1个规程
  • 1个半导体
  • 1个半导体工艺
  • 1个ARC
  • 1个BICMOS
  • 1个纯度

机构

  • 1个无锡微电子科...

传媒

  • 1个微电子技术
  • 1个中国电子学会...

地区

  • 1个江苏省
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陆锋
供职机构：无锡微电子科研中心
研究主题：集成电路 纯度 半导体 规程 工艺线
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