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林立强
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供职机构:
中国电子科技集团公司第五十五研究所
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合作作者
朱健
中国电子科技集团公司第五十五研...
张龙
中国电子科技集团公司第五十五研...
刘萍
中国电子科技集团公司第五十五研...
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朱健
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:MEMS 硅基 微机电系统 MEMS开关 键合
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刘萍
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:玻璃钝化 玻璃粉 氧化物 硅器件 离子
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张龙
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:钛酸锶钡 衬底 半导体硅片 半导体薄膜 高频损耗
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吴璟
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:键合 圆片级 三明治 光刻胶 斜坡
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戴精武
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:磁控溅射 靶材 微孔结构 钛酸锶钡 内应力
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卓敏
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:干法刻蚀 光敏性 键合工艺 晶化 梁结构
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吕振中
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:磁控溅射 靶材 微孔结构 钛酸锶钡 内应力
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