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7 条 记 录,以下是 1-7
朱健
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:MEMS MEMS开关 微机电系统 硅基 微机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘萍
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:玻璃钝化 玻璃粉 氧化物 硅器件 离子
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张龙
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:钛酸锶钡 衬底 半导体硅片 半导体薄膜 高频损耗
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴璟
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:键合 圆片级 三明治 光刻胶 斜坡
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
戴精武
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:磁控溅射 靶材 微孔结构 钛酸锶钡 内应力
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卓敏
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:干法刻蚀 光敏性 键合工艺 晶化 梁结构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吕振中
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:磁控溅射 靶材 微孔结构 钛酸锶钡 内应力
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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