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吕振中

作品数:2 被引量:0H指数:0
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所更多>>

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇制成品
  • 2篇内应力
  • 2篇钛酸
  • 2篇钛酸锶
  • 2篇钛酸锶钡
  • 2篇微孔
  • 2篇微孔结构
  • 2篇孔结构
  • 2篇溅射
  • 2篇靶材
  • 2篇磁控
  • 2篇磁控溅射

机构

  • 2篇中国电子科技...

作者

  • 2篇戴精武
  • 2篇吕振中
  • 2篇林立强
  • 2篇朱健

年份

  • 1篇2007
  • 1篇2005
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
钛酸锶钡介质靶的制备方法
本发明在制备钛酸锶钡靶材的原材料中添加少量的发泡剂或微量的助泡剂,在制靶烧结过程中使这类添加剂均匀地产生气泡而基本不留残渣,在最终的靶材制成品中,均匀地产生大量的微孔,具备这种微孔结构的靶材可极其有效地吸收、消除由于严酷...
林立强朱健吕振中戴精武
文献传递
钛酸锶钡介质靶的制备方法
本发明在制备钛酸锶钡靶材的原材料中添加少量的发泡剂或微量的助泡剂,在制靶烧结过程中使这类添加剂均匀地产生气泡而基本不留残渣,在最终的靶材制成品中,均匀地产生大量的微孔,具备这种微孔结构的靶材可极其有效地吸收、消除由于严酷...
林立强朱健吕振中戴精武
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共1页<1>
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