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朱蓉辉
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供职机构:
中国科学院半导体研究所
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电子电信
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合作作者
郑红军
中国科学院半导体研究所
卜俊鹏
中国科学院半导体研究所
惠峰
中国科学院半导体研究所
赵冀
中国科学院半导体研究所
曾一平
中国科学院半导体研究所
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郑红军
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:抛光晶片 GAAS 砷化镓 抛光 亚表面损伤层
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卜俊鹏
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:砷化镓 GAAS 抛光晶片 抛光 亚表面损伤层
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惠峰
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:砷化镓 抛光晶片 GAAS SI-GAAS 晶片
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赵冀
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:抛光晶片 微缺陷 晶片 GAAS 抛光
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曾一平
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:分子束外延 衬底 碳化硅 氮化镓 缓冲层
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高永亮
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:微缺陷 VGF LEC 单晶生长 温控设备
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尹玉华
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:GAAS 亚表面损伤层 抛光晶片 抛光 砷化镓
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卜俊峰
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:修整 晶片 气囊充气 平整度 抛光晶片
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