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库黎明

作品数：26 被引量：32H指数：4
供职机构：北京有色金属研究总院更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划国际科技合作与交流专项项目国家科技重大专项更多>>
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合作作者

领域

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主题

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  • 16个机械抛光
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机构

  • 22个北京有色金属...
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资助

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传媒

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地区

  • 22个北京市
共 22 条 记 录，以下是 1-10
周旗钢
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅单晶 硅片 300MM硅片 单晶硅 直拉硅单晶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
闫志瑞
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅片 硅片清洗 300MM硅片 硅片表面 清洗工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
索思卓
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：抛光 SI 硅片 300MM硅片 平整度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
常青
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅单晶 300MM硅片 硅片 晶体生长 单晶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄军辉
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：300MM硅片 DSP 非均匀性 SI 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
肖清华
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅片 离子注入 单晶硅 高温退火 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
冯泉林
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅片 300MM硅片 硅片表面 外延片 氧沉淀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李耀东
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅片 化学机械抛光 超大规模集成电路 300MM硅片 表面形貌
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
葛钟
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅片表面 SI 化学机械抛光 抛光垫 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈海滨
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：SI 化学机械抛光 抛光垫 抛光 使用期
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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