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蔡根寿

作品数：3 被引量：1H指数：1
供职机构：华东理工大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 5个电子电信
  • 3个化学工程
  • 3个一般工业技术
  • 3个理学
  • 2个冶金工程
  • 2个电气工程
  • 1个经济管理
  • 1个天文地球

主题

  • 8个离子刻蚀
  • 8个刻蚀
  • 8个反应离子
  • 8个反应离子刻蚀
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机构

  • 4个华东理工大学
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  • 2个华东化工学院
  • 1个复旦大学

资助

  • 1个国家自然科学...

传媒

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地区

  • 8个上海市
共 8 条 记 录，以下是 1-8
严金龙
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：SI 反应离子刻蚀 ISOLATION 硅 SILICON
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈国雄
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：磁控溅射 超大规模集成电路 半导体制造工艺 半导体工艺设备 反应离子刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄均文
供职机构：华东理工大学
研究主题：反应离子刻蚀 光致抗蚀剂 微电子学 紫外激光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
金桂林
供职机构：华东理工大学
研究主题：激光 光致抗蚀剂 碳化硅 超细粉 激光诱导
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汤德余
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：磁控溅射 半导体制造工艺 半导体工艺设备 反应离子刻蚀 化学气相沉积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
金晓英
供职机构：华东理工大学
研究主题：激光 超细粉 光致抗蚀剂 功率密度 激光功率密度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴钰铭
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：磁控溅射 半导体制造工艺 半导体工艺设备 反应离子刻蚀 化学气相沉积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
施善定
供职机构：华东理工大学理学院物理系
研究主题：液晶 染料 电场 蒽醌染料 光致抗蚀剂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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