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杨忠山

作品数：7 被引量：11H指数：2
供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术电气工程医药卫生更多>>

合作作者

领域

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主题

  • 3个电子束曝光
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机构

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资助

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传媒

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  • 1个物理学报

地区

  • 6个北京市
共 6 条 记 录，以下是 1-6
韩立
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：电子束 原子力显微镜 扫描探针显微镜 电流变液 电子束曝光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄经筒
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：真空电弧 离子镀膜 电弧 沉积速率 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
田丰
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：电子束曝光 微电子产业 高能 环状 纳米级
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谭敏
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：电子束曝光机 束流 单片机 轰击 光阑
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄经简
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：硅 微针 微细加工 湿法腐蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王丹丹
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：非线性校正 非线性 图像畸变 测量数据 伸缩量
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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