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李鹏

作品数：3 被引量：3H指数：1
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
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李昕欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
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左国民
供职机构：中国人民解放军防化指挥工程学院
研究主题：降解研究 悬臂梁 芥子气 TPD 降解
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王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
封松林
供职机构：中国科学院上海高等研究院
研究主题：相变存储器 相变材料 相变 电阻 存储器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
金大重
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 激励线圈 驱动线圈 悬臂 硅微机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘剑
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 悬臂 激励线圈 微机械传感器 驱动线圈
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
于海涛
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微悬臂梁 悬臂梁 谐振式 锁相环 传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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