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李耀东
作品数:
4
被引量:26
H指数:2
供职机构:
北京有色金属研究总院
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
国家科技重大专项
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相关领域:
电子电信
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合作作者
库黎明
北京有色金属研究总院
闫志瑞
北京有色金属研究总院
王继
北京有色金属研究总院
周旗钢
北京有色金属研究总院
林霖
北京有色金属研究总院
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库黎明
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 抛光 300MM硅片 平整度 硅片表面
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王继
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:超大规模集成电路 300MM硅片 硅片 化学机械抛光 表面形貌
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周旗钢
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅单晶 硅片 300MM硅片 单晶硅 直拉硅单晶
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闫志瑞
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 硅片清洗 300MM硅片 硅片表面 清洗工艺
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王新
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:大尺寸 CMP 硅片 机械抛光 化学机械抛光
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鲁进军
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:超大规模集成电路 300MM硅片 硅片 化学机械抛光 氧浓度
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刘红艳
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 HF RCA清洗 硅片清洗 声波
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林霖
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:超大规模集成电路 300MM硅片 硅片 化学机械抛光
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刘斌
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:氧沉淀 微缺陷 多晶硅 硅片 CZ硅单晶
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王敬
供职机构:清华大学
研究主题:沟道 半导体结构 场效应晶体管 晶体管 栅结构
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