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张静
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中国科学院微电子研究所
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自动化与计算机技术
电子电信
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合作作者
王文武
中国科学院微电子研究所
张青竹
中国科学院微电子研究所
殷华湘
中国科学院微电子研究所
李俊杰
中国科学院微电子研究所
宋崇申
中国科学院微电子研究所
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王文武
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 刻蚀 纳米线 半导体
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殷华湘
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 栅极 衬底 鳍片
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张青竹
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 叠层 纳米片 纳米线
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李俊杰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:刻蚀 半导体器件 沟道 纳米线 电子设备
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宋崇申
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:掩模 化学机械抛光 金属 微电子 叠层结构
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供职机构:中国科学院微电子研究所
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郭学平
供职机构:中国科学院微电子研究所
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张霞
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:基板 柔性基板 有源器件 有源 封装技术
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靖向萌
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:波导滤波器 选通 基片集成波导 基片集成 滤波器
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