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唐文剑

作品数：3 被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 4个电子电信
  • 2个自动化与计算...
  • 1个一般工业技术

主题

  • 4个电子束曝光
  • 4个电子束曝光机
  • 4个亚微米
  • 4个曝光机
  • 4个微米
  • 3个电子光学
  • 3个电子束
  • 3个电子束曝光系...
  • 3个偏转
  • 3个光刻
  • 3个光学
  • 2个电子束加工
  • 2个掩模
  • 2个缩小投影电子...
  • 2个图形发生器
  • 2个偏转系统
  • 2个半导体
  • 1个单片
  • 1个单片机
  • 1个电镜

机构

  • 4个中国科学院

传媒

  • 4个电工电能新技...
  • 2个微细加工技术
  • 2个第十一届全国...
  • 1个微电子学与计...
  • 1个电子工业专用...
  • 1个微纳电子技术
  • 1个'2001全...
  • 1个第二届全国电...
  • 1个第十二届全国...
  • 1个"99全国荷...

地区

  • 4个北京市
共 4 条 记 录，以下是 1-4
武丰煜
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：电子束曝光机 亚微米 电子束曝光 半导体器件 电子光学
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张福安
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：电子束曝光机 电子束曝光 亚微米 电子束 缩小投影电子束曝光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
安秉谦
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：电子束曝光 半导体行业 把手 阀体 阀门
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈建平
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：电子束曝光机 图形发生器 亚微米 电子束曝光 偏转系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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