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陈建平

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 3篇电子束曝光
  • 2篇电子束曝光机
  • 2篇图形发生器
  • 2篇曝光机
  • 1篇亚微米
  • 1篇偏转
  • 1篇偏转系统
  • 1篇微米

机构

  • 3篇中国科学院

作者

  • 3篇陈建平
  • 1篇唐文剑
  • 1篇王平
  • 1篇武丰煜

传媒

  • 3篇电工电能新技...

年份

  • 1篇1996
  • 1篇1990
  • 1篇1989
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
可变矩形电子束曝光的模拟
1989年
本文叙述图形发生器中专门设计的控制逻辑和开发的应用软件,从而使图形发生器能借助于长城86/360微机系统和一台记忆示波器实现可变矩形电子束曝光的模拟。
童忠镶陈建平翁思平王平
关键词：电子束曝光图形发生器
图形发生器的主扫描
1990年
本文叙述了在微米圆形电子束曝光机的图形发生器中,主扫描部分的几个关键技术问题的解决,以及所达到的指标,满足了整机对其精度高、速度快、稳定可靠的要求。
陈建平
关键词：电子束曝光机图形发生器
DY－5型亚微米电子束曝光机偏转系统
1996年
本文将重点介绍ＤＹ－５型电子束曝光机的偏转系统的构成、特点及结果。
唐文剑武丰煜唐辉陈建平
关键词：偏转系统亚微米
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共1页<1>
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