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周宠
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中国科学院微电子研究所
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赵劼
中国科学院微电子研究所
尹明会
中国科学院微电子研究所
陈岚
中国科学院微电子研究所
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陈岚
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:版图 电路 研磨 集成电路版图 CMP
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赵劼
供职机构:中国科学院微电子研究所
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尹明会
供职机构:中国科学院微电子研究所
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