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阎佐健
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中国科学院
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潘福全
中国科学院
曾志群
中国科学院
李求恕
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冯彬
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吕祺
中国科学院
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冯彬
供职机构:中国科学院
研究主题:磁控 镀膜设备 磁控溅射 溅射 离子枪
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曾志群
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研究主题:涡轮分子泵 抽气装置 机械泵 离子枪 线列
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潘福全
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研究主题:涡轮分子泵 抽气装置 机械泵 离子枪 线列
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李求恕
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研究主题:涡轮分子泵 抽气装置 超高真空 高精密 夹持
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研究主题:涡轮分子泵 机械泵 线列 磁力线 磁控溅射
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研究主题:磁控溅射 磁控 控制程序 镀膜设备 法兰
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研究主题:磁控溅射靶 溅射 磁控 离子束 离子枪
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吕祺
供职机构:中国科学院
研究主题:抽气装置 离子枪 涡轮分子泵 真空室 磁控溅射
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金振奎
供职机构:中国科学院
研究主题:溅射 离子枪 磁控溅射靶 磁控 离子束
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郭宝英
供职机构:中国科学院
研究主题:涡轮分子泵 机械泵 磁力线 磁控溅射 超高真空
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