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王军峰
作品数:
2
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供职机构:
西安微电子技术研究所
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相关领域:
电气工程
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合作作者
殷小莉
西安微电子技术研究所
陈福山
西安微电子技术研究所
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陈福山
供职机构:西安微电子技术研究所
研究主题:CR SIO 薄膜电阻器 溅射法制备 MEMS器件
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殷小莉
供职机构:西安微电子技术研究所
研究主题:CR SIO 薄膜电阻器 溅射法制备 HIC
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