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朱文玉
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中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
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合作作者
荣刚
中国科学院上海冶金研究所上海微...
徐运海
中山大学物理科学与工程技术学院...
陈树光
中山大学物理科学与工程技术学院...
林成鲁
中国科学院上海冶金研究所
苏毅
中国科学院上海冶金研究所
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荣刚
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:薄膜应力 应力和 碲 硅 汞
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徐运海
供职机构:中山大学
研究主题:BF 硅 离子注入 退火 磁盘
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林成鲁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 SOI 硅 SIMOX 铁电薄膜
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陈树光
供职机构:中山大学
研究主题:BF 光谱 金刚石 离子注入 KNSBN
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陆德仁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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研究主题:光学性质 光学常数 椭圆偏振 椭圆偏振光谱 磁光克尔效应
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钱佑华
供职机构:复旦大学物理学系
研究主题:硅 椭圆偏振 椭圆偏振光谱 多层膜 光谱学
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苏毅
供职机构:复旦大学
研究主题:硅 椭圆偏振光谱 波长扫描 椭圆偏振 光学常数
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江炳尧
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子束辅助沉积 离子注入 钼栅极 电子发射 低能
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关安民
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 离子注入机 低能 硅 SI
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