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12 条 记 录,以下是 1-10
荣刚
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:薄膜应力 应力和 碲 硅 汞
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐运海
供职机构:中山大学
研究主题:BF 硅 离子注入 退火 磁盘
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
林成鲁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 SOI 硅 SIMOX 铁电薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈树光
供职机构:中山大学
研究主题:BF 光谱 金刚石 离子注入 KNSBN
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陆德仁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 加速度传感器 传感器 微机械加速度传感器 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈良尧
供职机构:复旦大学
研究主题:光学性质 光学常数 椭圆偏振 椭圆偏振光谱 磁光克尔效应
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
钱佑华
供职机构:复旦大学物理学系
研究主题:硅 椭圆偏振 椭圆偏振光谱 多层膜 光谱学
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
苏毅
供职机构:复旦大学
研究主题:硅 椭圆偏振光谱 波长扫描 椭圆偏振 光学常数
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
江炳尧
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子束辅助沉积 离子注入 钼栅极 电子发射 低能
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
关安民
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 离子注入机 低能 硅 SI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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