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张志平
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中国科学院上海光学精密机械研究所
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合作作者
程兆谷
中国科学院上海光学精密机械研究...
覃兆宇
中国科学院上海光学精密机械研究...
高海军
中国科学院上海光学精密机械研究...
钱红斌
中国科学院上海光学精密机械研究...
黄惠杰
中国科学院上海光学精密机械研究...
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程兆谷
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:CO_2激光 脉冲预电离 二氧化碳激光器 横流二氧化碳激光器 散射光
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覃兆宇
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:硅片 平面反射镜 散射光 凹透镜 硅片表面
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高海军
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:硅片 双频激光干涉仪 分光镜 平面反射镜 双频激光器
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钱红斌
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:功率激光器 暖气片 数控 显微硬度 表面激光
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黄惠杰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
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朱健强
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:激光技术 激光器 高功率激光 高功率激光装置 相位恢复
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崔品静
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:超重 变形镜 激光加工机 激光加工 激光光束
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曾爱军
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 移相 测量方法 偏振
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黄慧杰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:参数测量 CO_2激光 二氧化碳激光器 脉冲 电极结构
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