覃兆宇
- 作品数：14 被引量：26H指数：2
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信文化科学更多>>
- 光学平面表面疵病的激光散射检测系统
- 一种光学平面表面疵病的激光散射检测系统，包括置放待测光学元件的X－Y精密步进平台，采用两束激光分别从垂直与倾斜两个方向聚焦照射待测光学元件的平面表面，产生的散射光通过多个光电探测器在不同方位角收集，转化为电信号后输入计算...
- 程兆谷覃兆宇张志平黄惠杰钱红斌朱健强
- 文献传递
- 加速度对激光双频干涉仪测量误差的影响被引量：6
- 2007年
- 为了减少由于加速度所导致的激光双频干涉仪测量误差,引入二阶多普勒频移,建立了由被测物体加速度所引起的测量误差的理论模型。仿真结果表明,在0.4s时间内0.6g加速度所引起的累积误差可达2.5nm左右,这对于纳米精度的测量是不应忽视的;初速度不为零时加速运动会引起更大的误差,而减速运动所引起的误差则相对小。通过实验验证,所测的误差变化趋势与理论模拟比较吻合。
- 张志平程兆谷覃兆宇朱健强
- 关键词：加速度多普勒频移
- 倾斜入射光散射式硅片表面缺陷检测仪
- 一种倾斜入射光散射式硅片表面缺陷检测仪，其构成是：在所述的激光光源组件发出的光束前进的方向上，依次有双凹透镜和平凸透镜组成的扩束系统，双胶合聚焦透镜，光束经平面反射镜转折且聚焦倾斜入射在被测量硅片表面，硅片位于工作台上；...
- 程兆谷高海军覃兆宇张志平黄惠杰钱红斌
- 文献传递
- 基于光纤复合架空地线的实时雷击定位系统
- 一种用于高压输电线网的基于光纤复合架空地线的实时雷击定位系统。本实用新型装置由激光器、分光镜、1/4波片、起偏器、光电二极管、数据采集处理系统、数据处理软件所组成。本实用新型通过高速测量由雷击造成的光波偏振态的变化来实现...
- 覃兆宇程兆谷张志平
- 文献传递
- 偏振光斯托克斯参量的高速实时测量技术被引量：20
- 2007年
- 为了满足对高速变化的偏振态的测量,提出一种能够对偏振态实现高速测量的技术。阐述了利用1/4波片与起偏器测量偏振光的斯托克斯参量常规的原理和方法,根据高速测量的要求推导出了新的斯托克斯参量计算公式,并依据此公式设计了基于多通道偏振态高速测量的方案,设计了具体的方法并编写了控制与算法程序。测试表明,该系统的测量速度达到了每秒700次偏振态测量,测量速度主要由电子线路的性能决定,测得的结果稳定可靠实现了光纤传输偏振态的高速测量。
- 覃兆宇程兆谷张志平朱健强
- 关键词：导波光学多通道斯托克斯参量
- 实时雷击定位系统及定位方法
- 一种用于高压输电线网的基于光纤复合架空地线的实时雷击定位系统及定位方法。本发明装置由激光器、分光镜、1/4波片、起偏器、光电二极管、数据采集处理系统、数据处理软件所组成。本发明通过高速测量由雷击造成的光波偏振态的变化来实...
- 覃兆宇程兆谷张志平
- 文献传递
- 具有散射光强倍增系统的硅片表面缺陷检测仪
- 一种具有散射光强倍增系统的硅片表面缺陷检测仪，包括激光入射系统和缺陷散射光收集系统，其特点是还有：散射光强倍增系统，由第一球面反射镜和第二球面反射镜构成；在第一焦点的第二次反射光路上设有一光陷阱；所述的缺陷散射光收集系统...
- 张志平程兆谷高海军覃兆宇
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- 具有散射光强倍增系统的硅片表面缺陷检测仪
- 一种具有散射光强倍增系统的硅片表面缺陷检测仪，包括激光入射系统和缺陷散射光收集系统，其特点是还有：散射光强倍增系统，由第一球面反射镜和第二球面反射镜构成；在第一焦点的第二次反射光路上设有一光陷阱；所述的缺陷散射光收集系统...
- 张志平程兆谷高海军覃兆宇
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- 硅片缺陷自动检测仪研制
- 程兆谷高海军钱红斌覃兆宇张志平黄慧杰
- 该系统包括激光光源系统、散射光收集系统、硅片螺旋扫描系统、光电检测和电子学处理系统以及计算机控制系统等几部分。在倾斜入射激光扫描散射检测技术，高效率大数值孔径散射光收集和光电检测技术，提高探测灵敏度和获得高的信噪比关键技...
- 关键词：
- 关键词：大规模集成电路
- 大口径钕玻璃表面疵病的激光散射检测装置
- 一种大口径钕玻璃表面疵病的激光散射检测装置，包括置放待测光学元件的X－Y精密步进平台；在所述X－Y精密步进平台的法线方向和待测光学元件的上方，自下而上同光轴地依次设置第二平面反射镜、散射光收集光阑、散射光收集物镜、光纤组...
- 程兆谷覃兆宇张志平黄惠杰钱红斌朱健强
- 文献传递
