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何渝

作品数：70 被引量：37H指数：4
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金四川省科技支撑计划更多>>
相关领域：理学机械工程电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

领域

  • 35个机械工程
  • 35个自动化与计算...
  • 33个电子电信
  • 32个理学
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  • 22个文化科学
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  • 12个电气工程
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  • 3个建筑科学
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  • 3个农业科学
  • 3个自然科学总论
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主题

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机构

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  • 1个《光电工程》...
  • 1个西藏自治区气...
  • 1个西藏自治区气...

资助

  • 35个国家自然科学...
  • 18个国家高技术研...
  • 9个四川省科技支...
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传媒

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  • 4个半导体技术
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  • 4个计测技术

地区

  • 34个四川省
  • 1个西藏
  • 1个广东省
共 36 条 记 录，以下是 1-10
胡松
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵立新
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐燕
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：调制度 三维形貌 成像 相移 超分辨
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱江平
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：莫尔条纹 叠栅条纹 数字微镜 工件台 无掩模光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘俊伯
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 数值孔径 投影光刻机 光刻 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈铭勇
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：投影光刻 无掩模光刻 光刻机 投影物镜 莫尔条纹
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
冯金花
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：工件台 叠栅条纹 掩模 光刻机 投影光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李艳丽
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：投影光刻 工件台 叠栅条纹 调焦 放大系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗先刚
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻 超分辨 掩模 表面等离子体 金属
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
严伟
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：生物芯片 工件台 光刻 纳米光刻 成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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