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郭南翔

作品数:7 被引量:10H指数:2
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
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相关领域:自动化与计算机技术电子电信更多>>

领域

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机构

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地区

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李昕欣
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李欣昕
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅纳米线 压阻式加速度传感器 微机械 振动频率 深反应离子刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汪飞
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 悬臂梁 芯片测试 接触电阻 微机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄树森
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 压阻式加速度传感器 深反应离子刻蚀 微机械技术 振动频率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄晖
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 深反应离子刻蚀 压阻 硅微机械 加速度计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋朝辉
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:压阻式加速度传感器 离子刻蚀 微机械 振动频率 微机械陀螺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
封松林
供职机构:中国科学院上海高等研究院
研究主题:相变存储器 相变材料 相变 电阻 存储器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄晖
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:压阻式加速度传感器 离子刻蚀 微机械 振动频率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋朝辉
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:加速度计 高量程加速度传感器 量程 加速度传感器 测试装置
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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