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郭南翔
作品数:
7
被引量:10
H指数:2
供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
自动化与计算机技术
电子电信
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合作作者
王跃林
中国科学院上海微系统与信息技术...
李昕欣
中国科学院上海微系统与信息技术...
黄树森
中国科学院上海微系统与信息技术...
李欣昕
中国科学院上海微系统与信息技术...
汪飞
中国科学院上海微系统与信息技术...
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李昕欣
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
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王跃林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
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李欣昕
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅纳米线 压阻式加速度传感器 微机械 振动频率 深反应离子刻蚀
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汪飞
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 悬臂梁 芯片测试 接触电阻 微机械
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黄树森
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 压阻式加速度传感器 深反应离子刻蚀 微机械技术 振动频率
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黄晖
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 深反应离子刻蚀 压阻 硅微机械 加速度计
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宋朝辉
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:压阻式加速度传感器 离子刻蚀 微机械 振动频率 微机械陀螺
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封松林
供职机构:中国科学院上海高等研究院
研究主题:相变存储器 相变材料 相变 电阻 存储器
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黄晖
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:压阻式加速度传感器 离子刻蚀 微机械 振动频率
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宋朝辉
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:加速度计 高量程加速度传感器 量程 加速度传感器 测试装置
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