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邸成良
作品数:
18
被引量:19
H指数:3
供职机构:
中国科学院光电技术研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
农业科学
轻工技术与工程
自动化与计算机技术
一般工业技术
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合作作者
胡松
中国科学院光电技术研究所
严伟
中国科学院光电技术研究所
陈昌龙
中国科学院大学
蒋薇
中国科学院光电技术研究所
刘俊伯
中国科学院光电技术研究所
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胡松
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
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严伟
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:生物芯片 工件台 光刻 纳米光刻 成像系统
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陈昌龙
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻 光刻机 掩模板 光源系统 光学加工
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蒋薇
供职机构:四川大学
研究主题:压头 磨蚀性 总成 微量润滑 光刻机
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温若愚
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:叶丝 成像系统 工件台 计算机系统 图像
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刘俊伯
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 数值孔径 投影光刻机 光刻 投影物镜
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唐燕
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:调制度 三维形貌 成像 相移 超分辨
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曾肖阳
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:叶丝 成像系统 工件台 计算机系统 图像
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赵唯一
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:成像系统 叶丝 工件台 计算机系统 图像
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陈铭勇
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:投影光刻 无掩模光刻 光刻机 投影物镜 莫尔条纹
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