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田浦延
作品数:
8
被引量:23
H指数:3
供职机构:
华南理工大学理学院应用物理系
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发文基金:
广东省自然科学基金
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相关领域:
电子电信
理学
化学工程
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合作作者
陈蒲生
华南理工大学理学院应用物理系
冯文修
华南理工大学理学院应用物理系
刘剑
华南理工大学理学院应用物理系
张恒
华南理工大学理学院应用物理系
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陈蒲生
供职机构:华南理工大学理学院应用物理系
研究主题:SIO XN 介质膜 热氮化 PECVD法
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所获资助
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冯文修
供职机构:华南理工大学理学院应用物理系
研究主题:SIO XN 介质膜 二氧化硅 超薄
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刘剑
供职机构:华南理工大学
研究主题:活性炭 相变材料 微胶囊相变材料 吸附动力学 微胶囊
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相关人物
供职机构
所获资助
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张恒
供职机构:华南理工大学理学院应用物理系
研究主题:超薄 DSP功能 SIO RTN N型硅
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供职机构
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