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沈蓓军

作品数：15 被引量：14H指数：3
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国家攀登计划更多>>
相关领域：机械工程电子电信金属学及工艺理学更多>>

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  • 1个浙江省
共 15 条 记 录，以下是 1-10
路敦武
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻 光学 敏感区 散射光 信噪比
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王润文
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：激光器 CO_2激光 高功率 激光 气体激光器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄惠杰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨良民
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：微机械 接近式光刻 光刻分辨率 分辨率 准分子激光光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何伟
供职机构：同济大学
研究主题：微机械 针尖 机械加工工艺 微构件 显微镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邹海兴
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光学系统 大规模集成电路 分光 光学探头 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
丁生华
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：大规模集成电路 成象系统 机械元件 线条 自动补偿
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
欧阳斌
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：起偏器 激光器 波片 双折射 激光谐振腔
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
梁静秋
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：傅里叶变换光谱仪 成像光谱仪 阵列器件 电铸 光子晶体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杜龙龙
供职机构：湖州职业技术学院
研究主题：敏感区 散射光 光学传感器 信噪比 在线检测装置
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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