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殷家忠

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
相关领域：机械工程自动化与计算机技术化学工程更多>>

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  • 2个上海市
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毛平天
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微量氧 微量水分 露点 露点仪 仪器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陆新根
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微量氧 露点 仪器 微量水分 微量水
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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