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毛平天

作品数：15 被引量：8H指数：2
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
相关领域：化学工程机械工程电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇会议论文
  • 4篇期刊文章
  • 2篇专利

领域

  • 4篇化学工程
  • 2篇机械工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 5篇气体
  • 3篇微量水
  • 3篇微量氧
  • 2篇电容
  • 2篇氧化铝
  • 2篇仪器
  • 2篇在线检测
  • 2篇气体分析
  • 2篇微量水分
  • 2篇露点仪
  • 1篇导纳
  • 1篇电容法
  • 1篇电容量
  • 1篇电容式
  • 1篇氧化碳
  • 1篇液氮
  • 1篇液氮冷冻
  • 1篇增湿
  • 1篇湿度计
  • 1篇气体纯度

机构

  • 11篇中国科学院上...
  • 2篇中国科学院

作者

  • 13篇毛平天
  • 6篇陆新根
  • 3篇骆如枋
  • 3篇黎修祺
  • 3篇何焕南
  • 2篇殷家忠
  • 1篇俞柏华
  • 1篇陈伟民

传媒

  • 2篇工厂动力
  • 1篇分析仪器
  • 1篇低温与特气
  • 1篇2002年全...
  • 1篇第七届全国湿...
  • 1篇中国工业气体...
  • 1篇1991年全...
  • 1篇第一届全国在...
  • 1篇全国计量测试...
  • 1篇中国金属学会...

年份

  • 2篇2002
  • 1篇1999
  • 3篇1998
  • 1篇1993
  • 2篇1991
  • 2篇1988
  • 2篇1986
共 15 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
气体中微量水份的测定—露点法和氧化铝电容法被引量：2
1986年
在半导体材料及电子器件生产中，要用到诸如氢、氮、氧、氩和氦等高纯气体，气体纯度严重影响产品质量。如氢，氮等气体及其流经的系统中的水份和氧，对硅及Ⅲ一V族化合物是极其有害的杂质。在硅外延工艺中，氢中水份达100vpm时，硅外延层会变成多晶结构。在MOS大规模集成电路的硅栅多晶薄膜工艺中，若稀释气体中含有微量水份，使多晶硅薄膜中夹有“氧化硅集团”，从而在刻蚀多晶硅薄膜时，造成多晶硅脱落，致使电学性能变坏。由上可知，对高纯气体及其流经系统中的微量氧和水份必须进行监测和控制。
黎修祺骆如枋毛平天
关键词：电容法氧化铝气体纯度硅外延层微量氧硅栅
Al<,2>O<,3>电容式露点仪测量中的主要误差分析
本文详细介绍净化空气中露点的检测概况,Al<,2>O<,3>电容式露点仪测量中的主要误差分析及一些问题的讨论如传感器的永久性慢漂移等.
毛平天陆新根殷家忠
关键词：露点仪误差分析
文献传递
湿度测量探头
一种湿度测量探头，属于通过测试电容量来测量或分析气体中微量水分的检测元件，由氧化铝湿度传感器，密封插座、进、出气口座和外壳组成，其特征是传感器直接置于被测气体通道中，在进、出气口座中安装有多孔过滤片。用本实用新型检测气体...
毛平天
文献传递
BIO-Ⅲ型CO＃-[2]测定仪的研制及应用
何焕南毛平天俞柏华
关键词：二氧化碳气体分析器传感器
国内外几种微量水分测定方法和仪器的比较被引量：3
1999年
工业生产中对净化气体的质量要求越来越高，其中对微量氧和微量水的监测越来越重要了。湿度的测定相对来说是较为困难的，尤其是低湿度的测量就更困难，尤其是低湿度的测量就更困难，本文就几种微量水分测定方法和仪器进行了优缺点对比分析。
毛平天陆新根
关键词：仪器气体分析
微量水分测定中的几种方法和仪器的比较
对气体中微量水分测定的几种方法和仪器作了比较，讨论了微量水分测量与温度、压力和流量的关系。
毛平天陆新根陈伟民
关键词：露点
净化气体中微量氧和水的检测
净化气体中微量氧和微量水的检测概况，着重介绍该所研制和生产的原电池式微量氧测定仪ＷＹ－Ｉ型，和电容式露点仪ＬＪ－ＩＩ型的特点及其在实际测量中露点与压力，温度和流量的关系。
陆新根毛平天
氧化铝湿度计的校准——动态校准法
1991年
氧化铝湿度计测定气体中水份是一个相对方法,需用标准方法进行校准.我们拟制了动态校准法.该方法解决了零点气体的获得;湿度的连续变化;湿度的绝对测量三个问题.本校准装置的校准范围为0.001～100PPmvH_2O(相当于-110℃～-20℃露点).调校后的校准曲线是一条近于45°的直线.经校准的氧化铝湿度计与多种测湿器进行对照测定,所得结果一致.这表明动态校准法和氧化铝湿度计的测定结果都是准确可靠的.对校准过程中应注意的问题进行了讨论.由误差分析估计出动态校准法的准确度可控制在±2℃露点以内.这与目前国外同类仪器的准确度基本相同.
黎修祺骆如枋毛平天
关键词：氧化铝湿度计
微量氧和微量水测定中一些问题的讨论被引量：2
1998年
本文提出了高纯气体中微氧，微量水测定中遇到的渗漏，吸附，仪器精度及标定等问题进行讨论，并介绍了实测的经验和数据供大家讨论和参考。
毛平天陆新根
关键词：高纯气微量氧微量水测定法
对湿度的在线连续监测
毛平天
关键词：导纳放大器阻抗测量在线检测
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共2页<12>
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